电弧离子镀沉积氮化钛铌超硬质梯度薄膜的方法

《电弧离子镀沉积氮化钛铌超硬质梯度薄膜的方法》 ——属于金属材料表面改性技术领域

该方法通过控制电弧离子镀纯钛、纯铌阴极靶在镀膜过程中的弧电流，以控制薄膜的成分。甚至可以通过控制纯钛、纯铌靶在镀膜过程中弧电流随时间函数的连续变化，来控制薄膜沉积生长到不同厚度时的成分。

在工模具钢基体上，该方法能够沉积合成硬度高于常用氮化钛的氮化钛铌超硬薄膜或超硬梯度薄膜。这些薄膜用于机械加工的刀具改性，旨在提高切削刀具的使用寿命和加工质量，尤其适合切削有色金属及其合金。

该方法具有沉积速度快、成分控制容易、操作简便易行的特点。

《电弧离子镀沉积氮化钛铌超硬质梯度薄膜的方法》属于金属材料表面改性技术领域。通过控制电弧离子镀纯钛、纯铌阴极靶在镀膜过程中的弧电流来控制薄膜的成分，甚至通过控制纯钛、纯铌靶在镀膜过程中弧电流随时间函数的连续变化，来控制薄膜沉积生长到不同厚度时的成分，在工模具钢基体上沉积合成硬度高于常用的氮化钛的氮化钛铌超硬薄膜或超硬梯度薄膜，用于机械加工的刀具改性以提高切削刀具的使用寿命和加工质量，尤其适合切削有色金属及其合金。该方法沉积速度快，成分控制容易，操作简便易行。