GaN基材料及紫外探测器

GaN基紫外探测器比传统Si探测器有突出的优点： 1. 探测灵敏度高， 2. 光谱响应分布好，特别适合可见光盲和太阳盲区的紫外辐射探测，不需要加昂贵的滤波器， 3. 可通过加Al元素调整光谱响应范围，长波限可在蓝光至紫外范围内调节， 4. 体积小，重量轻， 5. 耐高温，耐腐蚀，抗辐照， 6. 规模化生产成本将比传统紫外探测器大幅降低。

国外公司已有商品GaN基紫外探测器，但价格昂贵。目前国内水平都是实验室样品，尚未见转化成产品的探测器和探测器系统整机。

南京大学物理系通过国家自然科学基金以及国家“863”计划等项目支持，已经开发研究的MSM和PIN型GaN基紫外光电探测器可用于紫外光功率计中代替传统的Si紫外探测器。这种探测器可以减小体积，减轻重量，无需昂贵的滤波器，成本约为Si紫外探测器的十分之一至几百分之一。

相关技术已经申请专利（专利和专利申请号：ZL02112696.X，200410065181.2，200610086105.9，200610088286.9）。

紫外探测器 芯片 紫外探测器 试验器件

　GaN基紫外探测器比传统Si探测器有突出的优点：(1)探测灵敏度高，(2)光谱响应分布好，特别适合可见光盲和太阳盲区的紫外辐射探测，不需要加昂贵的滤波器，(3)可通过加Al元素调整光谱响应范围，长波限可在蓝光至紫外范围内调节，(4)体积小，重量轻，(5)耐高温，耐腐蚀，抗辐照，(6)规模化生产成本将比传统紫外探测器大幅降低。国外公司已有商品GaN基紫外探测器，但价格昂贵。目前国内水平都是实验室样品，尚未见转化成产品的探测器和探测器系统整机。南京大学物理系通过国家自然科学基金以及国家“863”计划等项目支持已经开发研究的MSM和PIN型GaN基紫外光电探测器可用于紫外光功率计中代替传统的Si紫外探测器，可以减小体积，减轻重量，无需昂贵的滤波器，成本约为Si紫外探测器的十分之一至几百分之一。

相关技术已经申请专利(专利和专利申请号：ZL02112696.X，200410065181.2，200610086105.9，200610088286.9)。

紫外探测器芯片

紫外探测器试验器件