一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片

一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片，包括以下组成部分：

1. 外围支撑硅基：提供整体结构支撑。
2. 外围支撑硅基中部：设有两组相对的成阵列布置的硅膜。
3. 硅膜：每组包含四个，与外围支撑硅基之间通过硅悬臂梁相连。
4. 硅悬臂梁：每个悬臂梁上配置有压阻条。
5. 压阻条：每组硅悬臂梁的四个压阻条通过引线连接，构成惠斯通电桥。
6. 阵列悬臂梁膜结构：由硅膜与硅悬臂梁组成，构成传感器测量部位。
7. 硅膜与外围支撑硅基间隙：确保硅膜悬空。
8. 硅膜间隙：相邻硅膜之间设置间隙。
9. 流体通过效应：当流体通过时，导致阵列悬臂梁膜结构变形。
10. 压阻条阻值变化：在硅悬臂梁应力作用下，压阻条阻值发生变化。
11. 惠斯通电桥失衡：惠斯通电桥失衡。
12. 电信号输出：输出与流体作用相对应的电信号。
13. 传感器芯片功能：实现流量的测量。

本发明具有以下优点：

• 体积小
• 质量小
• 灵敏度高
• 自校准功能

一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片，包括外围支撑硅基，外围支撑硅基中部设有两组相对的成阵列布置的硅膜，每一组有四个硅膜，每一硅膜和外围支撑硅基之间通过一个硅悬臂梁相连，每一硅悬臂梁上配置有压阻条，每一组硅悬臂梁的四个压阻条通过引线连接构成惠斯通电桥，硅膜与硅悬臂梁组成的阵列悬臂梁膜结构构成传感器测量部位，硅膜与外围支撑硅基存在间隙以使硅膜悬空，每一组相邻的硅膜之间存在间隙，当流体通过时，进而使得阵列悬臂梁膜结构发生变形，压阻条在硅悬臂梁的应力作用下阻值发生变化，惠斯通电桥失衡，输出一与流体作用相对应的电信号，从而实现传感器芯片对流量的测量，本发明具有体积小、质量小、灵敏度高和自校准的优点。