提供了一种纳米压印模板、系统和压印方法。

纳米压印模板

（10）包括 : 对紫外光透明的第一基板

（100）； 形成在第一基板

（100）的第一表面上的压印图案结构

（105）； 在第一基板

（100）的与第一表面相对的第二表面上形成的加热元件

（110），其中加热元件

（110）对紫外光是透明的； 以及第一电极对

（115），形成在第二表面上，用于向加热元件

（110）提供由外部电源施加的电流，以使加热部分

（110）发热。

本发明将紫外光固化纳米压印技术与热塑性纳米压印技术无缝集成，具有设备体积小、成本低、工艺简单等优点。

当使用模板和系统进行热塑性纳米压印时，可以复制大面积的微纳米图案。

另外，利用模板和系统进行紫外光固化纳米压印时，达到了提高工艺通量和减少图案复制缺陷的目的。