一种基于能斯特效应和原子层热电堆的复合光热探测器

本发明公开一种基于能斯特效应和原子层热电堆的复合光热探测器，其结构包括以下部分：

1. 单晶基片：采用c轴斜切的单晶基片，其c轴斜切角度为0°<θ<30°。
2. 原子层热电堆薄膜：沿c轴倾斜外延生长在单晶基片上。
3. 铁磁性薄膜：生长在单晶基片上，并设置在原子层热电堆薄膜的两侧。
4. 吸收层：覆盖在原子层热电堆薄膜、铁磁性薄膜和金属电极上。
5. 封装层：覆盖在吸收层上。
6. 金属电极：设置在原子层热电堆薄膜的上表面，相对中心位置对称，通过导线与电压表输入端连接。

该探测器具有以下优点：

1. 体积小。
2. 响应电压峰值大。
3. 灵敏度高。
4. 响应时间快。
5. 能实现宽光谱探测和热辐射探测。

本发明公开一种基于能斯特效应和原子层热电堆的复合光热探测器，结构中包括单晶基片、原子层热电堆薄膜、铁磁性薄膜、吸收层、封装层、金属电极，单晶基片为c轴斜切的单晶基片，单晶基片的c轴斜切角度0°<θ<30°，原子层热电堆薄膜沿c轴倾斜外延生长在单晶基片上，在原子层热电堆薄膜上表面相对中心位置对称设置两个金属电极，两个金属电极由导线与电压表输入端连接，铁磁性薄膜生长在单晶基片上并设置在原子层热电堆薄膜的两侧，吸收层覆盖在原子层热电堆薄膜、铁磁性薄膜和金属电极上，封装层覆盖在吸收层上；本发明探测器体积小、响应电压峰值大、灵敏度高、响应时间快，能实现宽光谱探测和热辐射探测。