一种限制电场型平板电流体动力微泵及其制造方法

摘要： 本发明公开了一种限制电场型平板电流体动力微泵及其制造方法。该微泵由PCB电极片和顶盖通过硅胶胶粘而成，所述的PCB电极片是通过PCB丝网印刷、沉金、松香油涂覆以及超精密磨削工艺加工制作而成。

由于对电极对侧面产生的电场进行了限制，使得电场集中于电极表面。这样的设计使得离子的拖拽作用都在电极表面完成，避免了电极结构对流体运动的阻挡，从而大幅提高了电流体动力泵的动力效果。

同时，采用PCB丝网印刷技术作为基础，不仅提升了电流体动力泵极片的生产效率，还大幅降低了微泵的制造成本。镀金层不仅为电极提供了良好的抗腐蚀能力，延长了电极的使用寿命，而且由于金具有较强的电子发射能力，相比于硅电极，它还大幅提升了单位空间内的电场强度，进而提升了微泵的动力性能。

摘要：本发明公开了一种限制电场型平板电流体动力微泵及其制造方法。微泵由PCB电极片和顶盖通过硅胶胶粘而成，所述的PCB电极片是通过PCB丝网印刷，沉金，松香油涂覆，超精密磨削工艺加工制作。由于对电极对侧面产生的电场进行了限制，使得电场集中于电极表面，离子的拖拽作用都在电极表面完成，避免了电极结构对流体运动的阻挡，大幅提高电流体动力泵的动力效果。同时，采用PCB丝网印刷技术作为基础，不但提升了电流体动力泵极片的生产效率，还可大幅降低微泵制造成本，镀金层不但可以为电极提供良好的抗腐蚀能力，延长电极的使用寿命，因金具有较强电子发射能力，相比于硅电极还大幅提升了单位空间内的电场强度，进而提升微泵的动力性能。