利用瞬态载流子光栅技术的信号测量方法

本发明为一种利用瞬态载流子光栅技术的信号测量方法，适用于光学通信领域。该方法采用脉冲激光光源，在半导体材料的表面形成明暗相间的干涉或衍射条纹，从而产生瞬态载流子光栅。通过采集经过光栅的衍射光，实现信号的测量。

本发明的方法实现了对半导体器件任何部位的信号采集与测量，这一过程无需将受测部位单独拿出，同时不会对器件造成损伤。此外，利用载流子的迁移与复合导致载流子光栅不断变化直至平衡的特性，通过测量信号光受载流子光栅的影响，可以计算出材料的载流子迁移率与载流子寿命。

本发明为一种利用瞬态载流子光栅技术的信号测量方法，用于光学通信领域。该方法利用脉冲激光光源在半导体材料的表面形成明暗相间的干涉或者衍射条纹，产生瞬态载流子光栅，采集经过光栅的衍射光实现信号的测量。本发明的方法实现了对半导体器件任何部位的信号采集与测量，该过程无需将受测部位单独拿出，同时不会对器件造成损伤。此外，利用载流子的迁移与复合所导致载流子光栅会不断变化直至平衡的特性，通过测量信号光受载流子光栅的影响可以计算出材料的载流子迁移率与载流子寿命。