Mevva离子源及其应用

金属蒸汽真空弧离子源（MEVVA）是一种新型强流金属离子源。该源利用阴极和阳极间的真空弧放电，由阴极材料表面直接产生高密度金属等离子体，经三电极系统引出，形成强流金属离子束。

MEVVA离子注入机是采用该项目研制的MEVVA离子源专利产品。该机可产生各种金属离子，且束流强，电荷态高，纯度高，束斑大。其主机仅由MEVVA源和靶室组成，不需要加速系统和磁分析系统，结构简单、紧凑，效率高，成本低，工作稳定可靠。

金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)是一种新型强流金属离子源。该源利用阴极和阳极间的真空弧放电，由阴极材料表面直接产生高密度金属等离子体，经三电极系统引出而形成强流金属离子束。MEVVA离子注入机是采用该项目研制的MEVVA离子源专利产品，该机可产生各种金属离子，而且束流强，电荷态高，纯度高，束斑大。其主机仅由MEVVA源和靶室组成，不需要加速系统和磁分析系统，结构简单，紧凑，效率高，成本低，工作稳定可靠。