[00100648]耐深紫外激光辐照特种玻璃

一、项目名称 　　耐深紫外激光辐照特种玻璃 　　二、技术概况 　　耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。 　　ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。 　　F2准分子激光157nm的透过率大于80%。 　　ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。 　　技术成熟度: 　　掌握了控制性能的关键技术。 　　除了纯度以外，H、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。 　　三、产品用途和市场 　　深紫外光刻、光制导等 　　四、主要设备和总投资 　　根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。 　　五、项目可供转让其他需要说明的情况 　　各种研发合作方式。欢迎洽谈。