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专利基本信息
专利名称 一种金属氧化物气敏传感基体材料及其制备方法
专利状态 等年登印 专利号（申请号） 2016101633284
专利申请日期 2016-03-22 专利类型 发明专利
申请公布号 201610163328 申请公布日 2016-03-22
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 苏州捷德瑞精密机械有限公司
专利摘要 本发明提供了一种金属氧化物气敏传感基体材料及其制备方法。由以下步骤制备而成：先将硫酸和过氧化氢混合均匀，超声清洗硅片；将氢氧化钠与去离子水混合溶解，超声清洗硅片；将氢氟酸和去离子水混合，超声清洗硅片，将硅片放入丙酮中超声清洗，再放入无水乙醇中超声清洗，然后将氢氟酸与N,N?二甲基甲酰胺混合均匀，倒入腐蚀槽中，将硅片插入腐蚀槽中进行腐蚀，最后将铁粉、碲粉、纳米二氧化硅、丁基羟基茴香醚和氧化钙混合分散均匀，平铺于坩埚中，插入两片2mm高陶瓷片，将多孔硅片置于其上，密封坩埚，放入马弗炉中煅烧即得。本发明的金属氧化物气敏传感基体材料的灵敏度随着气体浓度的增加而增加，灵敏度高且重复利用的稳定性好。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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