您所在的位置: 首页 > 专利技术 > 正文
专利基本信息
专利名称 利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及检测方法
专利状态 - 专利号(申请号) CN105651493A
专利申请日期 2016-03-01 专利类型 发明专利
申请公布号 CN201610115183.0 申请公布日 2016-03-01
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 方伟,唐锋,王向朝,朱鹏辉,李杰
专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所
专利摘要 一种利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及基于刀口测试技术和扫描相干衍射成像(Ptychography)技术的波像差检测方法。该波像差检测系统包括:相干点光源,作为检测标记的刀口图形,固定刀口图形的检测标记调节位移台和二维光电传感器。利用本发明的波像差检测系统检测待测投影物镜的波像差,可以简化系统结构,减少观测面图样的采集次数,提高系统的检测速度和精度。
专利价值评估分析
相关推荐
Baidu
map