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专利基本信息
专利名称 硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片
专利状态 - 专利号(申请号) CN107872005B
专利申请日期 2017-10-20 专利类型 发明专利
申请公布号 CN201710998805.3 申请公布日 2017-10-20
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 郑婉华,董风鑫,刘安金
专利权人 中国科学院半导体研究所
专利摘要 一种硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片,所述激光器包括依次设置的半导体光放大器、硅基模斑变换器、热调硅基环形谐振器及硅基相移器和双端口硅基多模干涉反射镜。所述双端口硅基多模干涉反射镜包括输入波导、输出波导、多模波导,以及分别将输入波导、输出波导与所述多模波导一端连接的锥形波导,所述输入波导连接到所述热调硅基双环谐振器的输出端,所述多模波导的另一端具有两个与波导轴向成45°的刻蚀面,两个刻蚀面垂直相交处位于所述多模干涉自成像波导的轴线上;所述激光器和其他硅基功能器件组成光子芯片。本发明的可调谐激光器及光子芯片具有尺寸小、成本低的优点,易于集成,在集成光电子领域和光通信领域有广阔的应用前景。
专利价值评估分析
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