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专利基本信息
专利名称 一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2014107222258
专利申请日期 2014-12-03 专利类型 发明专利
申请公布号 201410722225 申请公布日 2014-12-03
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 刘瑜
专利摘要 公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺，该氩气充填工艺程序包括：关闭高真空阀后关闭扩散泵，若真空度1小时后高于10-2Pa，开启高真空阀，保持24小时后，关闭高真空阀，开始填充氩气至真空度为10Pa，保持6小时后继续填充氩气至真空度为1000Pa，保持6小时后即可打开长晶设备；若真空度1小时后低于10-2Pa时，开始填充氩气至真空度为9x10-1Pa后停止；保持12小时后，继续填充氩气至真空度为100Pa后停止；保持12小时后，继续填充氩气至真空度为1000Pa；保持六小时后填充氩气至大气压后打开长晶设备。利用本发明能减少晶体在后退火过程中的开裂，将后退火时间缩短12小时，提高了生产效率。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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