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专利基本信息
专利名称 一种电子元件生产的离子注入装置
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2017207253151
专利申请日期 2017-06-21 专利类型 实用新型专利
申请公布号 201720725315 申请公布日 2017-06-21
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 诸暨越博企业管理咨询有限公司
专利摘要 本实用新型公开了一种电子元件生产的离子注入装置，包括离子源，离子源上端安装有离子喷枪，离子源上端连接有离子通道，离子通道上设置有离子过滤孔隙，离子过滤孔隙右端设置有聚焦器，聚焦器右端设置有磁镜，磁镜右端连接有离子加速器，离子加速器内设置有晶片夹具，晶片夹具包括基板，基板内设置有晶片插槽，基板内设置有若干个遮挡凹槽，遮挡凹槽内插入遮挡板，遮挡板与遮挡凹槽可拆卸连接，通过对离子注入装置进行结构改进，利用磁镜来稳定离子束，使得离子在注入过程中更加均匀稳定，采用晶片夹具来夹持晶片，使得晶片能够稳定接收离子束，避免离子注入过程中晃动带来的偏差，晶片夹具上的遮挡板位置可调，实现均匀分布，值得推广。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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