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专利基本信息
专利名称 一种气相沉积设备
专利状态 等年登印 专利号（申请号） 2018209331959
专利申请日期 2018-06-15 专利类型 实用新型专利
申请公布号 201820933195 申请公布日 2018-06-15
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 南通壹选工业设计有限公司
专利摘要 本实用新型公开了一种气相沉积设备，其包括气体流入箱等，真空箱位于气体流入箱的一侧，等离子气体存储箱位于真空箱的一侧，工作台固定在气体流入箱、真空箱、等离子气体存储箱上，输送管道连接等离子气体存储箱，多个高温沉积箱都固定在高温沉积箱和高温成型箱的两侧，多个冷却管都固定在高温沉积箱和高温成型箱的顶部，多个显示屏都固定在高温沉积箱和高温成型箱的一侧。本实用新型通过高温有效的完成了气相沉积，提高了沉积的速度和效率，成型的速度也得到了提高，让气相的沉积变得更加方便，可以有效的降低温度，保护沉积设备更加安全，提高了沉积设备的使用寿命。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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