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专利基本信息
专利名称 飞秒激光辅助超临界流体进行高分子材料微加工方法
专利状态 专利权维持 专利号(申请号) 2012100905264
专利申请日期 2012-03-30 专利类型 发明专利
申请公布号 201210090526 申请公布日 2012-03-30
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 天津大学
专利摘要 本发明涉及属于材料微加工技术。为提供提高激光加工精度的方法,本发明采取的技术方案是,飞秒激光辅助超临界流体进行高分子材料微加工方法,包括下列步骤:(1)选择一种在常温常压下对加工材料没有腐蚀性的并能够实现超临界态的液体,液体对所用激光透明,液体充满具有透光窗口的容器内;(2)将待加工材料固定在容器底部,浸在超临界流体内;(3)调节激光光路,使激光透过容器窗口聚焦在待加工材料表面,即材料和液体的界面上,当激光焦点处的激光能量达到或超过超临界流体多光子吸收阈值时,达到临界点的焦点处,发生分解反应,随着激光焦点的移动,在材料表面上产生需要的微加工形状/结构。本发明主要应用于材料微加工。
专利价值评估分析
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