专利基本信息
| 专利名称 | 一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺 | ||
|---|---|---|---|
| 专利状态 | 专利权维持 | 专利号（申请号） | 2014107222258 |
| 专利申请日期 | 2014-12-03 | 专利类型 | 发明专利 |
| 申请公布号 | 201410722225 | 申请公布日 | 2014-12-03 |
| 授权公告号 | - | 授权公告日 | - |
| 发明人 | - | ||
| 专利权人 | 刘瑜 | ||
| 专利摘要 | 公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺，该氩气充填工艺程序包括：关闭高真空阀后关闭扩散泵，若真空度1小时后高于10-2Pa，开启高真空阀，保持24小时后，关闭高真空阀，开始填充氩气至真空度为10Pa，保持6小时后继续填充氩气至真空度为1000Pa，保持6小时后即可打开长晶设备；若真空度1小时后低于10-2Pa时，开始填充氩气至真空度为9x10-1Pa后停止；保持12小时后，继续填充氩气至真空度为100Pa后停止；保持12小时后，继续填充氩气至真空度为1000Pa；保持六小时后填充氩气至大气压后打开长晶设备。利用本发明能减少晶体在后退火过程中的开裂，将后退火时间缩短12小时，提高了生产效率。 | ||
专利价值评估分析
专利价值评估分析
样例
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