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专利基本信息
专利名称 一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2014106726093
专利申请日期 2014-11-22 专利类型 发明专利
申请公布号 201410672609 申请公布日 2014-11-22
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 刘瑜
专利摘要 公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统，该装置包括压力传感器、电子流量阀、PLC控制器，其中，压力传感器，电子流量阀与PLC控制器通过信号线连接和通信，压力传感器安装在冷却出水口位置，电子流量阀安装在冷却进水口。出水压力变化通过压力传感器传输给PLC控制器，PLC控制器调节电子流量阀就能使水压自动保持在所需压力的±0.01兆帕度，从而形成冷却水压力的闭环控制。利用本专利能在使泡生法蓝宝石长晶设备冷却水系统进出水压力变化控制在0.01兆帕以内，减少了水压波动对晶体生长过程的影响，提高了晶体生长的质量。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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