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专利基本信息
专利名称 一种自动换靶的反应电子束蒸发仪的应用方法
专利状态 等年登印 专利号（申请号） 2017106085242
专利申请日期 2017-07-24 专利类型 发明专利
申请公布号 201710608524 申请公布日 2017-07-24
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 无锡南理工科技发展有限公司
专利摘要 本发明公开了一种自动换靶的反应电子束蒸发仪的应用方法，包括以下步骤：1)由控制单元控制控制第一机械泵、第二机械泵和第三机械泵启动，先由第一机械泵、第二机械泵和第三机械泵分别对真空镀膜腔、进入腔和出入腔以及备用靶材腔进行初抽真空；2)控制单元控制第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵启动，分别继续对真空镀膜腔、进入腔和出入腔以及备用靶材腔进行抽真空，直到真空达到10‑5Pa，3)当需要镀膜时，由控制单元将模式切换为自动，然后启动电子枪，待电子枪稳定后，待用；4)设置蒸镀薄膜的参数，将基片放在基底架上，并将基底架放置在第一料架上；5)由控制单元控制完成一个镀膜周期；6)循环操作上述步骤。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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