您所在的位置： 首页 > 专利技术 > 正文
专利基本信息
专利名称 一种用激光提纯多晶硅片的方法
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2011102027452
专利申请日期 2011-07-19 专利类型 发明专利
申请公布号 201110202745 申请公布日 2011-07-19
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 厦门大学
专利摘要 一种用激光提纯多晶硅片的方法,涉及多晶硅片。提供一种效率较高、工艺简单、污染较小的用激光提纯多晶硅片的方法。将多晶硅片清洗、烘干后,放置加热平台上进行预热;用激光对预热后的多晶硅片进行辐照;使激光对多晶硅片进行辐照扫描处理;对多晶硅片进行退火处理;刻蚀多晶硅片表层部分,得到目标产品。质谱分析表明,可一次将多晶硅片中部分区域的铁含量降低2～3个数量级;提纯后可直接应用于太阳电池等应用。直接加工低纯度的多晶硅片,减少硅产业中低纯度硅的重新回收加工。可大批量连续生产。通过激光熔化硅片再凝固也可以降低多晶硅片中磷的含量。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
相关推荐
技术专利 技术专家 技术成果
一种风机主控桨距及转矩指令处理系统
专利号：ZL202010899714.6
发明专利
一种气道支架固定套管针
专利号：2025201771715
实用新型专利
一种用于风机叶片缺陷检测的热成像图像增强训练方法和装置
专利号：ZL202110643548.8
发明专利
肝癌肿瘤标志物AFP、甲胎蛋白异质体、GP73抗原同步免疫检测试剂盒、方法及应用
专利号：CN201910703230.7
发明专利
一种用于钼铜合金与不锈钢的高强度钎焊方法
专利号：2019100389671
发明专利
一种循环湿式气体净滤系统及其净滤方法
专利号：CN201811130833.4
发明专利
一种新型改性木材及其制备方法
本发明提供了一种新型改性木材及其制备方法。该制备方法首先是将甲醛溶液和尿素混合配制成溶液并加入弱酸或...
行业：谷物磨制
一株具有广谱抑菌特性的植物乳杆菌AB-2及其应用
本发明公开了一种具有广谱抑菌特性的植物乳杆菌,该菌被命名为Lactobacillus?plantar...
行业：屠宰及肉类加工
家畜S2疫苗免疫与羊/牛种布鲁氏菌感染的IELISA检测试剂
本发明提供一种家畜S2疫苗免疫与羊/牛种布鲁氏菌感染的IELISA检测试剂,所述IELISA检测试剂...
行业：工业与专业设计及其他专业技术服务
一种选择性计数酸奶中保加利亚杆菌的方法
本发明涉及一种选择性计数酸奶中保加利亚杆菌的方法,该方法包括选择适于保加利亚乳杆菌生长的选择性计数培...
行业：饮料制造
斯氏副柔线虫半胱氨酸蛋白酶抑制剂Pj CPI基因克隆、重组表达方法及应用
本发明公开了斯氏副柔线虫半胱氨酸蛋白酶抑制剂Pj
行业：研究和试验发展
一株嗜热链球菌菌株及其用途
本发明涉及一种嗜热链球菌(Streptococcus#thermophilus)IMAU80841及...
行业：研究和试验发展
Baidu
map