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专利基本信息
专利名称 一种LED屏生产用半导体硅片清洗设备
专利状态 专利权维持 专利号(申请号) 2019222012184
专利申请日期 2019-12-10 专利类型 实用新型专利
申请公布号 201922201218 申请公布日 2019-12-10
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 陈熙娟
专利摘要 本实用新型提供了一种LED屏生产用半导体硅片清洗设备,属于LED屏技术领域,包括存水箱、隔板、钢丝网、进水管、吸水管、离心水泵、斜筒、空心盘、漏水管、流水槽、冲水框、输送管、橡胶盘、气泵、进气管和出水管,存水箱的内壁无缝焊接有三块隔板,存水箱的内壁嵌入粘接有钢丝网。本实用新型中的漏水管将流水槽上流动的水输送进空心盘,漏水管顶部的水就会产生漩涡,进而使漏水管的顶部产生吸力,硅片就可以被吸附在漏水管顶部的橡胶盘上,与传统清洗设备相比,只需要将硅片水平放置在流水槽上,硅片就会自动的被漏水管吸住,能够很方便的将硅片固定住,使硅片接受水流的冲击,同时不会使硅片发生碰撞,具有固定方便,清洗效率高的优点。
专利价值评估分析
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