您所在的位置： 首页 > 专利技术 > 正文
专利基本信息
专利名称 一种晶硅抛光片表面缺陷检测系统
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2012100865055
专利申请日期 2012-03-28 专利类型 发明专利
申请公布号 201210086505 申请公布日 2012-03-28
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 浙江工业大学
专利摘要 晶硅抛光片表面缺陷检测系统，包括激光模块、光学扫描模块、图形检测模块、晶硅抛光片运动模块以及显示控制模块，所述激光模块与所述光学扫描模块相连接，所述光学扫描模块固定于待检测晶硅抛光片的上方一侧，所述图形检测模块以π/2弧度固定于待检测晶硅抛光片上方相对于所述的光学扫描模块的另一侧，并与所述显示控制模块相连接；所述晶硅抛光片运动模块与所述显示控制模块相连接。本发明利用激光相干性、方向集中和高分辨率的特性，结合光机电一体化以及图像算法的方法进行晶硅抛光片表面质量的检测，可实现晶硅抛光片表面细小裂纹、细小颗粒、沾污、凸凹等缺陷的检测，为集成电路与太阳能光伏电池的生产提供可靠的质量检测保证。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
相关推荐
技术专利 技术专家 技术成果
一种可变径支气管封堵治疗塞
专利号：2024232903701
实用新型专利
一种商品销售柜及商品销售方法
专利号：202410532636.4
发明专利
试剂滴加杯
专利号：2019102819602
发明专利
吡喹酮粒度的光散射检测法
专利号：201910395270X
发明专利
一种具有帆形微织构的复合材料螺旋铣孔曲面锥形刀具
专利号：ZL 202410353616.0
发明专利
一种洗鞋机
专利号：202520654594.1
实用新型专利
富产胞外多糖的嗜热链球菌的快速筛选方法及实现所述方法的联合基因核酸序列
本发明提供含有嗜热链球菌的功能基因epsA、epsC和epsD的联合基因核酸序列在筛选富产胞外多糖的...
行业：其他农副食品加工
斯氏副柔线虫半胱氨酸蛋白酶抑制剂Pj CPI基因克隆、重组表达方法及应用
本发明公开了斯氏副柔线虫半胱氨酸蛋白酶抑制剂Pj
行业：研究和试验发展
一种快速室内鉴定向日葵抗列当水平的方法
本发明涉及一种室内条件下快速诱导向日葵列当萌发的方法,即培养皿滤纸法,及其在向日葵抗列当水平鉴定中的...
行业：谷物种植
一种新型改性木材及其制备方法
本发明提供了一种新型改性木材及其制备方法。该制备方法首先是将甲醛溶液和尿素混合配制成溶液并加入弱酸或...
行业：谷物磨制
巯基木质纤维素/蒙脱土复合重金属吸附剂及制备与应用
本发明提供了一种巯基木质纤维素/蒙脱土复合重金属吸附剂及制备与应用。该吸附剂是由巯基木质纤维素与蒙脱...
行业：合成材料制造
一种干酪乳杆菌及其在固态发酵中的应用
本发明涉及一种干酪乳杆菌及其在固态发酵中的应用。所述干酪乳杆菌(Lactobacillus case...
行业：食品制造业
Baidu
map