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专利基本信息
专利名称 一种基于聚吡咯电化学晶体管的微流控芯片及其制备方法
专利状态 - 专利号(申请号) CN109759154B
专利申请日期 2019-03-11 专利类型 发明专利
申请公布号 2019101812998 申请公布日 2019-03-11
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 冀健龙;王红旺;曹薇薇;孙海保;张虎林;张需明;江小宁;桑胜波;张文栋
专利权人 太原理工大学
专利摘要 本发明属于微流控芯片的技术领域,具体涉及一种集成聚吡咯电化学晶体管的微流控芯片及其原位制备方法;所要解决的技术问题为:提供一种基于聚吡咯电化学晶体管的微流控芯片及其制备方法;解决该技术问题采用的技术方案为:包括基底,所述基底的上层沉积有导线层,所述导线层设置有电气连接线和基片pad;所述导线层的上层还沉积有绝缘层,所述绝缘层上设置有电极窗口;所述绝缘层上还沉积有微电极,所述微电极的一端裸露在绝缘层上,微电极的另一端穿过电极窗口与导线层连接;所述微电极包括源极、栅极、漏极;所述基底、导线层、绝缘层、电极窗口、微电极共同构成基片,所述基片与PDMS盖片通过机械或者物理化学方法键合在一起;本发明应用于电化学晶体管的微流控芯片制备。
专利价值评估分析
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