您所在的位置： 首页 > 专利技术 > 正文
专利基本信息
专利名称 多层铜布线钴阻挡层表面粗糙度的控制方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN106433479B
专利申请日期 2016-07-19 专利类型 发明专利
申请公布号 201610576241X 申请公布日 2016-07-19
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 王辰伟;刘玉岭;岳昕;高宝红;牛新环
专利权人 河北工业大学
专利摘要 本发明属于化学机械抛光领域,尤其涉及一种多层铜布线钴阻挡层表面粗糙度的控制方法,首先配置碱性抛光液,然后在流量100‑500ml/min,温度15‑30℃、抛头转速为57‑150rpm、抛盘转速为63‑150rpm,抛光压力为6.89‑27.56kpa的工艺条件下进行抛光1‑5min;所述的碱性抛光液包括:螯合剂用量占抛光液总质量的0.1%‑1%;非离子型表面活性剂的用量为抛光液总质量的1‑5%;所述的Si02用量占抛光液总质量的1%,所述的抛光液最终的pH值为8‑12;该方法克服了现有铜布线化学机械抛光过程中存在的控制钴阻挡层表面粗糙度多采用酸性抛光液且包含氧化剂的问题。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
相关推荐
技术专利 技术专家 技术成果
一种具有仿生鱼尾鳍形微织构的螺旋铣孔曲面锥形刀具
专利号：ZL 202410354035.9
发明专利
一种晾衣架
专利号：CN224140552U
实用新型专利
电动滚轮式按摩躺椅
专利号：202421582590.9
实用新型专利
一种基于深度学习的旋转机械轴心轨迹识别方法
专利号：ZL202110056799.6
发明专利
一种基于超球体自适应过滤的图像特征检索方法
专利号：ZL202411701373.1
发明专利
一种电动多功能农业小车
专利号：ZL 2023 2 1840402.3
实用新型专利
一种金属-EDTA络合物溶液及其制备方法和应用
本发明提供了一种金属#EDTA络合物溶液及其制备方法。该金属#EDTA络合物溶液的原料包括溶质和溶剂...
行业：环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造
一种新型改性木材及其制备方法
本发明提供了一种新型改性木材及其制备方法。该制备方法首先是将甲醛溶液和尿素混合配制成溶液并加入弱酸或...
行业：谷物磨制
一种干酪乳杆菌及其在改善血脂代谢和免疫调节中的应用
本发明涉及一种干酪乳杆菌(Lactobacillus casei Zhang)及其在改善血脂代谢和免...
行业：医院
一种提高光伏架下牧草种子产量的方法
本发明公开了一种提高光伏架下牧草种子产量的方法,其特征是：对光伏架下种植牧草的土壤施以微生物菌肥。本...
行业：研究和试验发展
一种浅碟型串珠状波浪式排土场截排水系统
本发明公开了一种浅碟型串珠状波浪式排土场截排水系统,包括：坡面降雨防溅击治理区、坡面降雨防溅击治理区...
行业：环境治理业
一种捕食线虫性真菌的培养方法
本发明属于微生物学领域,提出一种捕食线虫性真菌的培养方法,包括步骤：1)在无菌条件下,将生长在玉米粉...
行业：生物药品制品制造
Baidu
map