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专利基本信息
专利名称 一种基于锰掺杂氮化铜薄膜的可见光探测器
专利状态 - 专利号（申请号） CN106206829B
专利申请日期 2016-07-29 专利类型 发明专利
申请公布号 2016106143578 申请公布日 2016-07-29
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 李兴鳌;赵杨华;楚亮;贾振宏;张巧霞;於爱爱;黄维
专利权人 南京邮电大学
专利摘要 本发明属于光电探测技术领域,提供一种基于锰掺杂氮化铜薄膜的可见光探测器。所述的可见光探测器由衬底1、底电极2、可见光吸收层3和顶电极4组成,可见光探测器为最简单的三明治结构,可见光吸收层3为锰掺杂氮化铜薄膜,位于底电极2和顶电极4之间。其制造方法为,首先将透明导电玻璃刻蚀,形成0.8cm宽的透明导电窄条,然后利用磁控溅射技术沉积锰掺杂氮化铜薄膜,最后用磁控溅射或者蒸发蒸镀的方法沉积金属顶电极4,便得到基于锰掺杂氮化铜薄膜的可见光探测器。该可见光探测器拥有良好的光响应度、持久可重复跳变性能、快速的响应时间,且结构简单,制作成本低,原料丰富易得,制造方法简单,采用磁控溅射和蒸镀技术,可以规模化生产。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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