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专利基本信息
专利名称 一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀
专利状态 - 专利号（申请号） CN106979349A
专利申请日期 2017-05-03 专利类型 发明专利
申请公布号 2017103043572 申请公布日 2017-05-03
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 杨玖重;陈夏敏;文武;李天宇;潘洋
专利权人 中国科学技术大学
专利摘要 本发明涉及一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀。该超薄插板阀的整体厚度小于8mm;包括阀安装件、阀体机构和直线导入器;阀安装件为板状,中部开设有通孔,一侧面设有一对导轨;阀体机构包括阀板,阀板的中部开设有阀孔,上端活动连接着直线导入器;工作时,阀体机构在直线导入器的作用下,沿一对导轨实现上下移动;当阀体机构上移至上止点,使阀孔和通孔重合贯通时,超高真空超薄插板阀为打开状态;当阀体机构下移至下止点,使阀孔和通孔完全不贯通时,超高真空超薄插板阀为关闭状态。本发明在不增加样品与电离点距离的情况下,实现了质谱探测器与束源室之间的快速隔离,提升了换样效率,提高了运行精度及稳定性,消除了颗粒污染对密封的影响。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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