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专利基本信息
专利名称 全氟烷基磺酰氧基苄基杂环缓蚀剂及其制备方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN104264156B
专利申请日期 2014-09-28 专利类型 发明专利
申请公布号 2014105078816 申请公布日 2014-09-28
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 涂海洋;王乾有;张爱东;王珊
专利权人 华中师范大学
专利摘要 本发明公开了一类全氟烷基磺酰氧基苄基杂环缓蚀剂及其制备方法及应用。该类含氟缓蚀剂的结构通式如式Ⅰ所示:其中,Rf为全氟丁基或全氟己基,R为杂环基团,包括三氮唑、苯并三氮唑、巯苯并噻唑、苯并咪唑、巯基苯并咪唑、咪唑、2‑甲基咪唑、1,4‑二甲基咪唑等。以全氟丁基磺酰氟、全氟己基磺酰氟为含氟前体材料,经过与对羟基苯甲醇进行磺酸酯化、与卤代试剂进行氯代、与杂环化合物反应,得到全氟烷基磺酰氧基苄基杂环缓蚀剂。本发明将含氟基团引入缓蚀剂分子,设计合成的含氟缓蚀剂不含危害环境磷元素,低浓度下就具有良好的缓蚀效果,本发明部分含氟缓蚀剂在5×10‑4M的浓度时就可达到95%以上的缓释效果。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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