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专利基本信息
专利名称 一种氢等离子熔炼连续铸造生产高纯金属靶坯的装置
专利状态 - 专利号(申请号) CN108788040B
专利申请日期 2018-07-04 专利类型 发明专利
申请公布号 2018107258898 申请公布日 2018-07-04
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 余建波;杨帆;张裕嘉;孔洋;刘亮;李霞;任忠鸣
专利权人 上海大学
专利摘要 本发明公开一种氢等离子熔炼连续铸造生产高纯金属靶坯的装置,包括两个对称设置的固定架,两个固定架之间活动连接有多个水冷辊和驱动辊,水冷辊位于驱动辊斜上方,且与驱动辊啮合;固定架下方连接有结晶器,结晶器外壁缠绕有感应线圈,结晶器下方连接有引锭杆;多个水冷辊成“V”字形设置于结晶器上方;固定架上方安装有送料装置、源气体输送装置和电极装置。本发明提供的氢等离子熔炼连续铸造生产高纯金属靶坯的装置,采用多辊的单向转动实现反应槽底部未熔化金属的熔化,精炼后的金属靶坯熔体流入结晶器内进行电磁软接触连续铸造,进而获得高纯度、高致密度和具有一定取向的棒状溅射靶坯。
专利价值评估分析
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