您所在的位置： 首页 > 专利技术 > 正文
专利基本信息
专利名称 一种在硅表面制备非晶碳氮薄膜的装置及方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN106011745A
专利申请日期 2016-06-15 专利类型 发明专利
申请公布号 2016104227511 申请公布日 2016-06-15
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 周兵;刘竹波;王志峰
专利权人 太原理工大学
专利摘要 本发明公开了一种在硅表面制备非晶碳氮薄膜的装置及方法。该装置为离子源辅助脉冲阴极电弧装置,制备方法包括下列步骤:将预先化学清洗的硅基片烘干,放置在旋转样品台上;抽真空,通入氩气到真空室,采用离子溅射源对硅基片表面进行物理清洗;以高纯石墨作为脉冲电弧的阴极靶材,调节脉冲放电频率,同时通入氮气,打开离子源,分别制备原子化和离子化氮掺杂的非晶碳氮薄膜。本发明实现了非晶碳氮薄膜中的碳/氮原子和碳氮键/碳碳键的含量可调、碳氮键合类型和类石墨氮/类吡啶氮的结构可控。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
相关推荐
技术专利 技术专家 技术成果
一种具有帆形微织构的复合材料螺旋铣孔曲面锥形刀具
专利号：ZL 202410353616.0
发明专利
一种具有自适应结构的自动拉伸器
专利号：ZL202110205735.8
发明专利
一种拖拉机悬挂限位装置
专利号：ZL2025 2 1607929.0
实用新型专利
一种风机主控桨距及转矩指令处理系统
专利号：ZL202010899714.6
发明专利
一种键盘（金左手键盘）
专利号：专 利 号：ZL202122053449.2
实用新型专利
一种用于风机叶片缺陷检测的热成像图像增强训练方法和装置
专利号：ZL202110643548.8
发明专利
巯基木质纤维素/蒙脱土复合重金属吸附剂及制备与应用
本发明提供了一种巯基木质纤维素/蒙脱土复合重金属吸附剂及制备与应用。该吸附剂是由巯基木质纤维素与蒙脱...
行业：合成材料制造
生物活性肽精准制备技术研究与应用
以药食同源动植物主要原料，综合运用双酶切、膜过滤等现代食品加工，研制出分子量在400-500Da， ...
行业：生物药品制品制造
环境清洁型沙地柏熏香及其制作工艺
本发明涉及一种环境清洁型沙地柏熏香及其制作工艺,其制备原料包括以沙地柏精油为香料添加剂的木粉、轻质碳...
行业：生物药品制品制造
一种选择性计数酸奶中保加利亚杆菌的方法
本发明涉及一种选择性计数酸奶中保加利亚杆菌的方法,该方法包括选择适于保加利亚乳杆菌生长的选择性计数培...
行业：饮料制造
一种浅碟型串珠状波浪式排土场截排水系统
本发明公开了一种浅碟型串珠状波浪式排土场截排水系统,包括：坡面降雨防溅击治理区、坡面降雨防溅击治理区...
行业：环境治理业
多层数据安全加密手段的私有云备份机制
本发明涉及数据备份技术领域,特别是一种多层数据安全加密手段的私有云备份机制,该机制将多层加密过程与云...
行业：软件开发
Baidu
map