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专利基本信息
专利名称 尖端间距可调节的金属V型光栅Fano共振结构
专利状态 - 专利号(申请号) CN109001179B
专利申请日期 2018-08-07 专利类型 发明专利
申请公布号 201810890195X 申请公布日 2018-08-07
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 吕昌贵;祁正青;史士鹏;钟嫄;崔一平
专利权人 东南大学
专利摘要 本发明涉及一种尖端间距可调节的金属V型光栅Fano共振结构,该共振结构包括一层透明弹性基底和金属V型光栅。通过弯曲弹性基底实现了结构尖端的纳米级间距,极大地增强了尖端附近的局域场增强因子。这种尖端间距的可调节特性保证了制备过程中尖端间距的可靠性,有效保证了检测的高灵敏度和高精确度。结构的共振光场主要局域在狭缝尖端,场增强范围也由传统的纳米颗粒对的点延展到线。该共振结构的制备方法基于硅的各向异性腐蚀和金属薄膜的剥离技术,工艺简便,可靠性高,重复性好,便于应用。
专利价值评估分析
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