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专利基本信息
专利名称 一种镍锌氧化合物光电薄膜及其制备方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN109267028A
专利申请日期 2018-11-29 专利类型 发明专利
申请公布号 2018114444078 申请公布日 2018-11-29
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 费佳蕾;吴红艳;王璐;沈国柱
专利权人 南京信息工程大学
专利摘要 本发明涉及一种镍锌氧化合物光电薄膜及其制备方法,借助双阴极辉光等离子放电作用在Ni基体表面溅射沉积锌氧化合物薄膜,将基体用丙酮进行超声清洗,之后将预处理好的基体放入等离子体炉内的试样台上完成样品表面锌氧化合物薄膜的制备。本发明以高纯金属元素为靶材,为了提高元素反应的供应量和供应效率,在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电,成膜仅需要10‑30min。本发明通过元素的溅射反应形成大面积高质量的复合透明薄膜电极,薄膜的厚度在5‑10微米。本发明得到的薄膜表面质量高,且制备方法已较为成熟,成本低,无污染,工艺流程较为简单,对基体本身的性能几乎无影响,不会损伤基体。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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