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专利基本信息
专利名称 一种MEMS回形螺线管变压器及其制造方法
专利状态 - 专利号(申请号) CN109599249B
专利申请日期 2018-10-30 专利类型 发明专利
申请公布号 2018112783212 申请公布日 2018-10-30
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 陶智;李海旺;徐天彤;吴瀚枭
专利权人 北京航空航天大学
专利摘要 本发明实施例提供了一种MEMS回形螺线管变压器,包括:硅衬底、回形软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管;其中,回形软磁铁芯包裹在硅衬底内部,硅衬底上设置有第一螺旋孔道和第二螺旋孔道,且回形软磁铁芯的两个相对的边分别穿过第一螺旋孔道的中心和第二螺旋孔道的中心,第一螺线管及第二螺线管分别设置在第一螺旋孔道和第二螺旋孔道中。通过将变压器的回形软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管设置在硅衬底的内部,充分利用了硅衬底的厚度,得到的变压器的绕组横截面积更大,磁通量更高,使得变压器的电感值高;同时,硅衬底能够对回形软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管起到保护作用,提高了变压器的强度,抗冲击性能好。
专利价值评估分析
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