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专利基本信息
专利名称 原子力显微镜探针装置
专利状态 - 专利号（申请号） CN109061232B
专利申请日期 2018-08-29 专利类型 发明专利
申请公布号 2018109950614 申请公布日 2018-08-29
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 赵慧玲;白莹;郁彩艳
专利权人 河南大学
专利摘要 本发明公开了一种原子力显微镜探针及底座的组合装置,其中探针的微悬臂在其与针尖相对的表面上具有台阶孔;探针座包括吸附件和定位件,吸附件包括真空吸附槽以及吸附面;定位件从吸附面伸出插入台阶孔中并旋转以与台阶孔的台阶面抵接;定位件包括相连的转动杆及转动条,转动条上表面装置有弹性组件;微调结构利用连杆连接转动杆和微调螺母,微调螺母控制微调结构带动定位件移动。本发明的装置能够提高换针效率,避免了脱针和错位,能够对探针微悬臂末端施加固定的作用力,促进了探针微悬臂的灵敏度,提高了测试效果。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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