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专利基本信息
专利名称 一种高精度微纳尺寸二维材料电极制备方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN107946188B
专利申请日期 2017-10-24 专利类型 发明专利
申请公布号 2017109999679 申请公布日 2017-10-24
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 吴幸;夏银;徐何军
专利权人 华东师范大学
专利摘要 本发明公开了一种高精度微纳尺寸二维材料电极制备方法,该方法的步骤:将二维材料转移至带预置电极的硅衬底;将其放在显微镜下观察拍照;在图像处理软件上进行图像处理后;在版图软件中打开,根据要求画上电极;通过电子束曝光制得电极。本发明成本低、效率高;而且根据不同要求在版图处理软件上画上不同电极图形,高效地控制电极尺寸和形状,适用范围广。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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