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专利基本信息
专利名称 一种用于强磁场测量的梳齿状微传感器及制备方法
专利状态 - 专利号(申请号) CN107290693B
专利申请日期 2017-06-02 专利类型 发明专利
申请公布号 2017104085159 申请公布日 2017-06-02
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 许高斌;王月媖;陈兴;马渊明;李坤
专利权人 合肥工业大学
专利摘要 本发明涉及一种用于强磁场测量的梳齿状微传感器。包括依次连接的基底、传感器本体和封盖,其中传感器本体分为主体、一对测量电极体和一对驱动电极体三部分,一对测量电极体位于主体X方向的两侧,一对驱动电极体在主体Y方向两侧,且分别与主体对称呈齿状交错配合结构,最后基底、传感器本体和封盖通过键合形成内部真空的梳齿状微传感器。本发明实现了托卡马克的强磁环境下的竖直z方向的磁场大小的测量,通入交流信号的金属线圈在磁场下受到洛伦兹力作用,带动主体有往受力方向运动的趋势,再是驱动电极体上的梳齿上产生的静电力的复合作用下,使主体以某一频率机械振动,引起电容变化,进而推算出所测量的磁场大小。
专利价值评估分析
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