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专利基本信息
专利名称 一种大口径平面光学元件自动调平方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN111257231B
专利申请日期 2020-02-28 专利类型 发明专利
申请公布号 202010133578X 申请公布日 2020-02-28
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 刘东;孙焕宇;王狮凌;王悦;黄进;周晓燕
专利权人 浙江大学;中国工程物理研究院激光聚变研究中心
专利摘要 本发明公开了一种大口径平面光学元件自动调平方法,采用自动调平装置,包括样品调平台、三维位移台、三台激光位移传感器、数据采集单元、数据分析处理单元以及控制单元。在自动调平前,对三台激光位移传感器进行初始相对距离定标;自动调平时,三台激光位移传感器同时提供平面光学元件上三个对应采样点的相对距离,经分析处理后反馈给控制单元,进行俯仰和旋转角度调平。调平过程中,实时反馈三个采样点的相对距离,并矫正样品调平台的移动量,实现闭环控制。本发明操作步骤简单,无需对大口径平面光学元件进行扫描,极大提升了调平速度,实现大口径平面光学元件的非接触式、快速、自动调平。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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