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专利基本信息
专利名称 一种制备金属TiN陶瓷涂层的工艺方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN103233219B
专利申请日期 2013-03-22 专利类型 发明专利
申请公布号 2013100964746 申请公布日 2013-03-22
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 潘太军;张保;李杰;汪涛
专利权人 常州大学
专利摘要 本发明采用高能微弧合金化技术和辉光离子渗氮技术相结合的方法,在金属表面制备TiN涂层,首先通过高能微弧合金化技术在金属表面沉积一层纯Ti涂层,制备过程中选用一定规格的纯Ti作为沉积电极,通过控制制备过程中关键技术参数,可以实现纯钛层厚度可变;然后将沉积好的纯钛层通过辉光离子渗氮技术进行渗氮处理形成TiN层,处理过程中,炉体作为阳极,钛层作为阴极,通入氨气或者氢气与氮气的混合气体,辉光放电产生的氮离子、氮原子很容易被微晶化的Ti层吸附渗透,在微晶化的Ti层表面形成TiN涂层。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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