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专利基本信息
专利名称 一种用于光刻机的镭射支架
专利状态 等年登印 专利号（申请号） 2019103046620
专利申请日期 - 专利类型 发明专利
申请公布号 - 申请公布日 -
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 -
专利摘要 本发明公开了光刻机镭射架技术领域的一种用于光刻机的镭射架，包括插杆、螺纹杆、套管和两组固定板，通过内螺纹管、塑料五星把手螺栓和正六边形板限制套管上下移动和固定，利用插杆和套管带动固定板固定在楼层之间，采用镭射管卡在两组软橡胶板和弧形软橡胶块之间，从而抑制住镭射管在水平方向的震动，确保光刻机本身震动在传递给镭射管时，其镭射管在水平方向的震动幅度在设备技术要求范围允许内；从而确保激光束能顺利通过镭射管传输给光刻机，保障了光刻机能正常运转，该装置操作简单，上下伸缩，可以运用在不同楼层之间，具有广泛的市场运用前景
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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