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专利基本信息
专利名称 ,改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板的设计方法,
专利状态 - 专利号(申请号) CN103726019A
专利申请日期 2013-12-13 专利类型 发明专利
申请公布号 CN201310684126.0 申请公布日 2013-12-13
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 孙建,张伟丽,易葵,邵建达
专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所
专利摘要 一种用于行星转动系统镀膜机内改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板设计方法。建立镀膜模型和设计了具有抛物线轮廓的平面修正挡板。本发明挡板用于镀膜实验表明,在通光口径与曲率半径比值范围(-1.9~+1.9)内改善膜厚均匀性达到97.5%以上,且对凸球面光学元件和凹球面光学元件都适用。
专利价值评估分析
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