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专利基本信息
专利名称 锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN107990838B
专利申请日期 2017-11-09 专利类型 发明专利
申请公布号 CN201711099311.8 申请公布日 2017-11-09
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 唐锋,卢云君,王向朝,严焱,郭福东
专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所
专利摘要 一种锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法,测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台,和待测光学元件；所述的波面测量干涉仪输出准直光束,待测光学元件是锥镜或柱面镜,待测光学元件安装在精密旋转台上,其旋转对称轴与精密旋转台的旋转轴对齐；波面测量干涉仪出射光与待测光学元件的一条母线垂直,从而测得该母线的面形信息,通过精密旋转台扫描完成待测光学元件全表面测量。具有高精度、低成本、高通用性的特点。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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