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专利基本信息
专利名称 一种基于金刚线切割的单晶硅片的湿法制绒方法
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2012100314565
专利申请日期 2012-02-13 专利类型 发明专利
申请公布号 201210031456 申请公布日 2012-02-13
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 浙江大学
专利摘要 本发明公开了一种基于金刚线切割的单晶硅片的湿法制绒方法，包括：(1)将所述的单晶硅片经清洗、晾干，于60-80℃条件下在由重量比为10-20∶0.8-12∶100-200的NaOH、异丙醇和去离子水组成的混合溶液中浸泡腐蚀20-400s，得预处理后的单晶硅片；(2)将预处理后的单晶硅片清洗后，用常规单晶硅制绒工艺进行制绒。本发明的方法成功的将金刚线切割的单晶硅片应用于现有的制绒工艺中进行制绒，绒面大小合适、分布更均匀，且不增加制绒时间和成本。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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