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专利基本信息
专利名称 一种基于表面等离激元的四象限探测器
专利状态 专利权维持 专利号(申请号) 2016100835359
专利申请日期 2016-02-06 专利类型 发明专利
申请公布号 201610083535 申请公布日 2016-02-06
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 厦门大学
专利摘要 一种基于表面等离激元的四象限探测器,属于光学测量技术领域。四象限光电探测器设有金属膜,在金属膜表面设有一组边长为a的亚波长正方形凹槽,一般要求a约等于半波长以便有较高的耦合效率。各凹槽的位置位于一个M×N的正方形网格的格点位置,M表示网格的列数,N表示网格的行数,M可等于N,M和N的选取要求使器件的尺寸和光斑尺寸可以比拟。因此每个凹槽的中心位置记为rm,n=max+nay,x和y是直角坐标系的x和y方向单位矢量,m和n是任何绝对值不大于M的整数,某个凹槽的位置记为(m,n)。反应速度快、暗电流小。器件可以制备在几十纳米厚度的金属薄膜上,结构简单,尺度小、利于器件集成化。
专利价值评估分析
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