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专利基本信息
专利名称 一种高纯硅的精炼装置及其方法
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2013103428740
专利申请日期 2013-08-08 专利类型 发明专利
申请公布号 201310342874 申请公布日 2013-08-08
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 厦门大学
专利摘要 一种高纯硅的精炼装置及其方法，涉及一种硅的精炼装置及其方法。提供低成本、高效、工艺简单和适合产业化推广的一种高纯硅的精炼装置及其方法。所述装置设有中频感应熔炼炉、升降装置、等离子熔炼装置、透气塞装置、真空系统和浇注用石墨模具。将硅料放入坩埚中，抽真空后启动熔炼炉对硅料加热；熔化后提高熔炼炉功率，使硅液在1600～1850℃保温；通入工作气体熔炼；启动熔炼装置，引弧后，将引弧装置转移，对硅液表面进行等离子熔炼；熔炼完成后关闭熔炼装置，透气塞降至坩埚底部，当透气塞降至坩埚底部后关闭透气塞装置，停止通气；将硅液倒入浇注用模具中，即得高纯硅锭。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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