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专利基本信息
专利名称 一种仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件及其制备方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN111005001B
专利申请日期 2019-12-30 专利类型 发明专利
申请公布号 2019114056611 申请公布日 2019-12-30
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 赵九蓬;谷金鑫;豆书亮;李垚;任飞飞;魏航;李龙
专利权人 哈尔滨工业大学
专利摘要 一种仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件及其制备方法,它属于智能热控涂层技术领域。本发明要解决现有基于VO2的智能热控器件发射率变化小,太阳吸收比高的问题。仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件自下而上依次由半导体基底层、红外高反射金属层、HfO2介质层、VO2层和保护层组成。制备方法:一、红外高反射金属层的制备;二、介质薄膜制备;三、VO2薄膜制备;四、微结构加工;五、保护层沉积。本发明用于仿天牛多级结构的二氧化钒智能热控器件及其制备。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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