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专利基本信息
专利名称 一种引入微辉光放电模式的大气压非平衡等离子体源
专利状态 - 专利号（申请号） CN102427653B
专利申请日期 2011-09-19 专利类型 发明专利
申请公布号 2011102785455 申请公布日 2011-09-19
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 俞哲;张芝涛;白敏冬;田一平;许少杰;金忠林
专利权人 大连海事大学
专利摘要 一种引入微辉光放电模式的大气压非平衡等离子体源,属于气体放电与应用技术领域。高压电极组件放置在两平行的接地电极组件之间构成双电离腔结构,任意一极安装大气压局域强电场诱发器件针阵列电极,与相对应的平板电极之间构成多针-板放电电极结构,平板电极表面均匀覆盖α-Al2O3电介质层,其中与放电电极接触的一面镀涂金属Ag或Au,在放电间隙距离为0.25~0.64mm,工作气压90~110kPa,冷却水温度5~10℃,激励电压5~10kV,激励频率5~50kHz的条件下。本发明的等离子体源能够以微辉光和微流注两种放电模式交替工作,微辉光放电有效增强放电电场强度,为等离子体化学反应提供更加丰富的活性粒子。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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