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专利基本信息
专利名称 激光诱导碳基电子元件的柔性转印方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN111278231B
专利申请日期 2020-02-17 专利类型 发明专利
申请公布号 2020100965147 申请公布日 2020-02-17
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 冯雪;徐光远;马寅佶
专利权人 清华大学
专利摘要 提供了一种激光诱导碳基电子元件的柔性转印方法,包括以下步骤:准备步骤:在硬质基底上结合牺牲层,在牺牲层上结合光敏聚酰亚胺薄膜;诱导步骤:采用CO2激光诱导光敏聚酰亚胺薄膜碳化从而形成碳基电子元件;转印步骤:将碳基电子元件和未被碳化的光敏聚酰亚胺薄膜转印至柔性基底;曝光步骤:将碳基电子元件和未被碳化的光敏聚酰亚胺薄膜曝光于紫外光中;清除步骤:用清洗剂清洗被紫外光照射过的未被碳化的光敏聚酰亚胺薄膜;牺牲层与光敏聚酰亚胺薄膜和碳基电子元件的结合力小于光敏聚酰亚胺薄膜和碳基电子元件与柔性基底之间的结合力。未被碳化的聚酰亚胺薄膜能够溶解于清洗剂而被洗掉,从而获得不能被清洗剂溶解的碳基电子元件。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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