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专利基本信息
专利名称 一种基于波导光栅倏逝场扰动检测的微机械陀螺
专利状态 - 专利号（申请号） CN110146065B
专利申请日期 2019-06-10 专利类型 发明专利
申请公布号 2019104956426 申请公布日 2019-06-10
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 周震;赵玉娇;王奕奕
专利权人 北京航空航天大学
专利摘要 本发明公开一种基于波导光栅倏逝场扰动检测的微机械陀螺。该微机械陀螺中,驱动电极和监控电极分布在质量块的两侧;驱动电极一端与质量块固定连接,另一端固定在二氧化硅衬底上;监控电极的一端与质量块固定连接,另一端固定在衬底上;驱动电极利用电场驱动质量块在水平方向上振动;监控电极检测质量块的振动幅度;扰动梁与驱动电极位于质量块的同一侧,扰动梁与质量块的侧边的中央固定连接;激光器的激光出射方向正对光波导的一端,光波导的另一端正对探测器;波导光栅腔体设置在光波导上;波导光栅腔体位于扰动梁的下方且扰动梁位于波导光栅腔体的倏逝场内。本发明能够实现机械结构和光学结构的独立,从而支持机械性能和光学性能的独立优化。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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