您所在的位置： 首页 > 专利技术 > 正文
专利基本信息
专利名称 一种在金刚石/铜复合基体表面制备Mo/AlN/BN涂层的方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN103820763A
专利申请日期 2014-02-21 专利类型 发明专利
申请公布号 2014100596679 申请公布日 2014-02-21
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 王周成;吴正涛;祁正兵;张东方
专利权人 厦门大学
专利摘要 一种在金刚石/铜复合基体表面制备Mo/AlN/BN涂层的方法,涉及一种复合材料表面处理。在金刚石/铜复合基体表面磁控溅射沉积金属Mo过渡层;在金属Mo过渡层上反应溅射沉积AlN薄膜;在AlN薄膜上沉积BN抗氧化保护层。在经过离子源轰击清洗的金刚石/铜复合基体表面,先沉积金属Mo过渡层,以缓解基体与涂层热膨胀系数失配问题,并增强膜-基结合强度;然后采用反应磁控溅射方法沉积AlN薄膜;最后沉积一层具有高热导率的BN抗氧化保护层,提高涂层的抗氧化性能。可在金刚石/铜复合基体表面制备具有高绝缘性、低相对介电系数、低介电损耗、高导热率,且结合良好、性能稳定的Mo/AlN/BN涂层。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
相关推荐
技术专利 技术专家 技术成果
一般用于涂层的复合材料及其制备方法
专利号：ZL201910941808.2
发明专利
吡喹酮粒度的光散射检测法
专利号：201910395270X
发明专利
一种管束结构流致振动的非接触位移测试方法
专利号：ZL202110528741.7
发明专利
外观设计专利证书(饮水车）
专利号：ZL 2025 3 0490335.5
外观专利
一种基于固氮冷却介质制备的低温装置
专利号：ZL202111163969.7
发明专利
一种可变径支气管封堵治疗塞
专利号：2024232903701
实用新型专利
一株嗜热链球菌菌株及其用途
本发明涉及一种嗜热链球菌(Streptococcus#thermophilus)IMAU80841及...
行业：研究和试验发展
一株具有抗甜瓜枯萎菌和抗甜瓜疫霉菌活性的植物乳杆菌AB-4及其应用
本发明公开了一种具有抗甜瓜枯萎活性的植物乳杆菌Lactobacillus?plantarum?AB-...
行业：蔬菜、食用菌及园艺作物种植
一种捕食线虫性真菌的培养方法
本发明属于微生物学领域,提出一种捕食线虫性真菌的培养方法,包括步骤：1)在无菌条件下,将生长在玉米粉...
行业：生物药品制品制造
一种浅碟型串珠状波浪式排土场截排水系统
本发明公开了一种浅碟型串珠状波浪式排土场截排水系统,包括：坡面降雨防溅击治理区、坡面降雨防溅击治理区...
行业：环境治理业
一种干酪乳杆菌及其在改善血脂代谢和免疫调节中的应用
本发明涉及一种干酪乳杆菌(Lactobacillus casei Zhang)及其在改善血脂代谢和免...
行业：医院
斯氏副柔线虫半胱氨酸蛋白酶抑制剂Pj CPI基因克隆、重组表达方法及应用
本发明公开了斯氏副柔线虫半胱氨酸蛋白酶抑制剂Pj
行业：研究和试验发展
Baidu
map