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专利基本信息
专利名称 一种高效稳定的电弧等离子体源
专利状态 - 专利号(申请号) CN207820298U
专利申请日期 2017-12-27 专利类型 实用新型专利
申请公布号 2017218551718 申请公布日 2017-12-27
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 孙玄;易洪深;刘明
专利权人 中国科学技术大学
专利摘要 本实用新型公开了一种高效稳定的电弧等离子体源,包括阳极、阳极铜环电极、内部陶瓷筒、中间陶瓷筒、外部陶瓷筒、阴极、阴极铜环电极、钼注气管、阴极陶瓷盖、引入电极中间绝缘、陶瓷垫圈、能量引入压线铜鼻、陶瓷绝缘盒、阳极陶瓷盖和钼垫圈;阴极和阳极共轴装配,阴极和阳极之间用陶瓷垫圈和钼垫圈交替叠填充,内部陶瓷筒套在垫圈外部,内部陶瓷筒两端分别嵌入阴极和阳极的凹槽内,内部陶瓷筒外再套上中间陶瓷筒,中间陶瓷筒的两端与阴极和阳极的内部端面相接,开有装配孔的外部陶瓷筒套在中间陶瓷筒外。本实用新型只需要脉冲注气,减小等离子体中的中性工作质气体,减少工作质气体使用量,在真空下使用时有利于提高等离子体的参数。
专利价值评估分析
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