专利基本信息
| 专利名称 | 一种高效稳定的电弧等离子体源 | ||
|---|---|---|---|
| 专利状态 | - | 专利号(申请号) | CN207820298U |
| 专利申请日期 | 2017-12-27 | 专利类型 | 实用新型专利 |
| 申请公布号 | 2017218551718 | 申请公布日 | 2017-12-27 |
| 授权公告号 | - | 授权公告日 | - |
| 发明人 | 孙玄;易洪深;刘明 | ||
| 专利权人 | 中国科学技术大学 | ||
| 专利摘要 | 本实用新型公开了一种高效稳定的电弧等离子体源,包括阳极、阳极铜环电极、内部陶瓷筒、中间陶瓷筒、外部陶瓷筒、阴极、阴极铜环电极、钼注气管、阴极陶瓷盖、引入电极中间绝缘、陶瓷垫圈、能量引入压线铜鼻、陶瓷绝缘盒、阳极陶瓷盖和钼垫圈;阴极和阳极共轴装配,阴极和阳极之间用陶瓷垫圈和钼垫圈交替叠填充,内部陶瓷筒套在垫圈外部,内部陶瓷筒两端分别嵌入阴极和阳极的凹槽内,内部陶瓷筒外再套上中间陶瓷筒,中间陶瓷筒的两端与阴极和阳极的内部端面相接,开有装配孔的外部陶瓷筒套在中间陶瓷筒外。本实用新型只需要脉冲注气,减小等离子体中的中性工作质气体,减少工作质气体使用量,在真空下使用时有利于提高等离子体的参数。 | ||
专利价值评估分析
专利价值评估分析
样例
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