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专利基本信息
专利名称 一种双波段紫外光电探测器件及其制备方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN109326681B
专利申请日期 2018-08-09 专利类型 发明专利
申请公布号 2018109003677 申请公布日 2018-08-09
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 贾仁需;余建刚;董林鹏;杨茜
专利权人 西安电子科技大学
专利摘要 本发明涉及一种双波段紫外光电探测器件及其制备方法,制备方法包括:选取衬底;在衬底表面生长光吸收层;在光吸收层表面形成叉指电极。本发明提供的双波段紫外光电探测器件具有衬底、(InxGa1‑x)2O3材料形成的紫外光吸收层以及叉指电极,在不同In组份的情况下,(InxGa1‑x)2O3材料的光学带隙发生变化(4.9~8.9eV),在高In组份的情况下,(InxGa1‑x)2O3材料发生相的分离,产生两个光学带隙,对两个紫外光谱范围产生感应,从而实现双波段光信号的探测。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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